fjzong 发表于 2008-2-3 15:48:48

哪位朋友知道扩散工艺的细节?

哪位朋友知道扩散工艺的细节?
硅片是一片片单独放?还是两片两片背靠背一起放?
扩散后是只有一面有p-n结, 还是硅片的两面都有p-n结?

kbzx2008 发表于 2008-2-5 09:34:28

管式扩散大都是背靠背放的了，但是扩散后两面都还会有p-n结的

fjzong 发表于 2008-2-5 10:17:00

谢谢拉!

谢谢拉!
但是怎么保证去PSG工艺后, 只有一面有p-n结?
还有表面制绒工艺后是两面都有绒面,还是只有一面有绒面?如何制绒?

fjzong 发表于 2008-2-6 16:59:04

怎么没人回复??

是我的问题太简单, 还是没见到一线人员, 大家都不知道确切工艺!!!
望各位领导赐教!!!

西祠小混混 发表于 2008-4-1 10:33:06

两种都可以的，工艺上面也没什么差别

xiaoya 发表于 2008-4-1 10:39:39

制绒是两面都有，PSG不会去掉PN结，扩散一般都是背靠背放的，背面也会有PN结的

西祠小混混 发表于 2008-4-1 11:29:48

湿法刻蚀可以去掉背面的PN结

shenjianlei 发表于 2008-6-18 20:24:32

工艺上不需要去pn结，因为要制背场，影响不大还有助效率提高

shenjianlei 发表于 2008-6-18 20:26:50

制绒有单面也有双面，单面工艺不稳定

zxfcnc 发表于 2008-8-5 21:16:44

工艺上不需要去pn结，因为要制背场，影响不大还有助效率提高
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