wuliao56
发表于 2008-8-7 13:24:21
怎样单面制绒?我只见过酸蚀或碱蚀,都是双面的,光刻吗,会有损伤层出现
thc860902
发表于 2008-8-7 20:37:25
单片和背靠背都可以进行扩散,而且不用担心PSG怎么做,PSG只是为了取出制PN后在硅片表面形成的一层化合物而已。
atwoodtiger
发表于 2008-9-8 10:58:16
制绒时两片插一起就是单面制绒了为,呵呵。准备用RENA设备用来做背腐蚀,这样就可以省掉等刻,去PSG工序了。尚德好像就这么做。
andarchan
发表于 2008-10-7 21:44:43
回复 6# xiaoya 的帖子
新手我请问:去PSG的目的是什么呢?为什么呢
ly2988520
发表于 2010-11-29 16:23:03
制绒后的硅片两面都有绒面,扩散的时候一个石英舟的格子里放两片,扩散的时候只是扩散朝外的那一面,两张片子贴在一起的那一面扩散不到,扩散面有PN结,非扩散面没有PN结。
barton2004
发表于 2010-12-21 09:27:36
这种问题是基本工艺,看一些相关的资料即知道了.
fcsky@126.com
发表于 2011-2-24 20:02:40
这个我表示压力很大啊!!
单片的是双面扩散
背靠背的是单面扩散
两者最终的结果是一样的,每个公司的都不一样
118003016
发表于 2011-6-29 02:23:02
看来你不是做电池片的,做电池片不会问这样的问题的。制绒两面都有,扩散两面都有。只选制绒面作扩散面。
6552179
发表于 2011-8-17 16:56:15
回复 andarchan 的帖子
去PSG的目的是去除硅片扩散后表面产生的氧化硅膜和刻蚀后的杂质
jihongchun
发表于 2011-9-2 10:52:06
扩散的工艺一般都有10步左右,一般都采用背靠背单面扩散,PSG需洗去片子边缘及背面的磷硅玻璃。