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【晶硅电池片】
› PECVD镀膜后白斑白点问题
yongjin
发表于 2014-7-29 09:20:21
墨无文殇 发表于 2011-8-4 19:55
昨天做了一整天的实验,加了四个小时的班,终于找到了白斑的起始原因了,高浓度的HF会在硅片表面形成F沉淀 ...
高浓度的HF会在硅片表面形成F沉淀,这是造成白斑的主要原因?拿你们怎么解决呢???减少HF浓度?
Jerrychow
发表于 2015-2-11 09:25:01
你有验证白点的成分是什么吗? 板P设备维护周期? 是湿法刻蚀吗?
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PECVD镀膜后白斑白点问题