墨无文殇
发表于 2011-8-6 18:06:03
是制绒与后清洗之间的清洗，不懂问问其他的工程师，他们懂的
ztjy2008
发表于 2011-8-6 23:01:00
那应该是扩散工序了，制作pn结的
zhaoff2005
发表于 2011-8-26 13:06:53
白斑形成的原因有很多，具体原因具体分析吧。
xyd0209
发表于 2011-9-14 09:27:48
这种白斑大多都是因为清洗不完全造成的，后清洗如果不注意肉眼很难发现，我遇到很多次了，主要是刻蚀出了问题，酸碱浓度变化了，多排查这方面会有效果的，现在我就很少遇到了……
zhaoff2005
发表于 2011-9-27 15:21:17
PE白斑多数原因在后清洗工序。
oxrtalent
发表于 2012-5-17 17:45:58
呵呵，楼主厉害。
/:Z拯救
发表于 2012-5-21 00:02:08
真的从来没注意过F的沉淀 明天好好验证下
permanentlich
发表于 2012-6-13 15:19:35
肯定是出在清洗的问题上！
wokaoman
发表于 2012-11-4 14:13:08
应该是去PSG清洗时没洗干净吧
yongjin
发表于 2014-7-29 09:16:55
机台氮化硅粉尘，建议保持好机台卫生！
