柔性技术联盟(FlexTech Alliance)近日向坎布里奇纳米科技(Cambridge NanoTech)公司提供了一笔研究经费,用于开发高速原子层沉积(ALD)系统。该系统可以在大面积柔性衬底上进行沉积,可应用于包括有机太阳能电池在内的有机电子行业。高速原子层沉积系统的研发目的是实现卷式(roll-to-roll)生产工艺所需要的高产量。 为了加快原子层沉积速率,坎布里奇纳米科技的工程团队将采用多种独特的高速前驱体引入和脱出原理,借以缩短循环周期。测试版的系统将于2012年安装在亚利桑那州立大学的柔性显示研究中心。 “我们很荣幸能被柔性技术联盟选中进行原子层沉积技术的产业化研究,并将这种技术引用于薄膜领域的前沿,”坎布里奇纳米科技的首席运营官雷·里特尔(Ray Ritter)表示,“这种激动人心的新技术将改良柔性电子设备、显示设备和其他新一代消费类产品的制造工艺。” “柔性技术联盟的使命是为柔性和印刷电子产品建立一个良性的商业环境,”柔性技术联盟的首席执行官迈克尔∙切辛斯基(Michael Ciesinski)表示,“坎布里奇纳米科技凭借这笔经费所研发的高速原子层沉积系统将在柔性电子产品的商业化道路上扮演重要角色。” |
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