光伏发电技术培训[研考班]2018

阳光工匠光伏论坛

 找回密码
 立即注册
查看: 5705|回复: 0

[书籍] 硅片加工技术

[复制链接]
发表于 2010-11-17 16:14:33 | 显示全部楼层 |阅读模式
未命名.jpg
作  者:张厥宗 编著
出 版 社:化学工业出版社
出版时间:2009-10-1
内容简介
本书在介绍半导体硅的物理、化学和半导体性质的基础上,全面。系统地介绍了满足集成电路芯片工艺特征尺寸线宽0.13-0.10umIC工艺用优质大直径硅单晶、抛光片以及用于制备硅太阳能电池的硅晶片的制备技术、工艺、设备和相关国内外标准。
本书可供致力于从事半导体材料硅晶片加工技术工作领域的科技人员、工程技术人员、工人阅读参考,也可供企业管理人员或在校学生和热爱半导体材料硅的各界人士参考。

硅片加工技术.pdf

5.58 MB, 阅读权限: 30, 下载次数: 229

评分

参与人数 1能量 -1 收起 理由
74110 -1 太贵了 不值

查看全部评分

您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册

本版积分规则

手机版|Archiver|阳光工匠光伏论坛 ( 苏ICP备08005685号 )

GMT+8, 2024-3-29 23:56 , Processed in 1.078139 second(s), 8 queries , File On.

Powered by Discuz! X3.4

Copyright © 2001-2020, Tencent Cloud.

快速回复 返回顶部 返回列表