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[技术交流] 三氯氢硅合成炉相关问题

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3高级技术员
1169/2000
发表于 2010-10-27 15:51:28 | 显示全部楼层 |阅读模式
如何获取下载券?
在三氯氢硅合成中,出炉尾气含氯化氢在40%左右,请问是什么原因,如何改善?
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1初来乍到
196/200
发表于 2010-11-29 10:47:48 | 显示全部楼层
与合成炉结构、操作(压差、气速)等因素有关。先清理分布器,调整压差与气速,效果不好就更换合成炉。
碳交易培训 7月期
3高级技术员
1169/2000
 楼主| 发表于 2011-8-18 13:20:38 | 显示全部楼层
光伏发电技术培训[研考班]2018
请问楼上的朋友,出炉尾气含氯化氢在多少合适呢?
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