硅片等级分类及标准

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硅片等级分类及标准


New Roman ">一、优等品
1：硅片表面光滑洁净。
2：TV：220±20μm。
3：几何尺寸：
边长125±0.5mm；对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm；
边长103±0.5mm、对角135±0.5mm；
边长150±0.5mm 、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。
同心度：任意两个弧的弦长之差≤1mm。
垂直度：任意两边的夹角：90°±0.3。
二、合格品
一级品：
1：表面有少许污渍、轻微线痕。
2：220±20μm ≤TV≤220±30μm。
3：几何尺寸：
边长125±0.5mm；对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm；
边长103±0.5mm、对角135±0.5mm；
边长150±0.5mm 、156±0.5mm、对角200±0.5mm、203±0.5mm。
同心度：任意两个弧的弦长之差≤1.2mm。
垂直度：任意两边的夹角：90°±0.5。
二级品：
1：表面有少许污渍、线痕、凹痕，轻微崩边。
2： 220±30μm ≤TV≤220±40μm。
3：凹痕：硅片表面凹痕之和≤30μm。
4：崩边范围：崩边口不是三角形状，崩边口长度≤1mm，深度≤0.5mm
5：几何尺寸：
边长125±0.52mm；对角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm；
边长103±0.52mm、对角135±0.52mm；
边长150±0.52mm 、156±0.52mm、对角200±0.52mm、203±0.52mm。
同心度：任意两个弧的弦长之差≤1.5mm。
垂直度：任意两边的夹角：90°±0.8。
三级品：                                                                                                                  
1：表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅落现象。
2：220±40μm ≤TV≤220±60μm。
3：硅落：整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。
三、不合格品
严重线痕、厚薄片：TV＞220±60μm。
崩边片：有缺损但可以改Φ103的硅片。
气孔片：硅片中间有穿孔 。
外形片：切方滚圆未能磨出的硅片。
倒角片（同心度）：任意两个弧的弦长之差>1.5mm。
菱形片（垂直度）：任意两边的夹角>90°±0.8。
凹痕片：硅片两面凹痕之和＞30μm。
脏  片：硅片表面有严重污渍且发黄发黑。
尺寸偏差片：几何尺寸超过二级品的范围。
          注：以上标准针对的硅片厚度为220μm。