直拉单晶作业指导书

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直拉单晶作业指导书 一、作业目的： 为了使员工正确、规范地进行生产操作。避免因操作错误等原因给生产带来不必要的损失，并使员工在生产过程中能够养成按规定操作的良好作业习惯，特制定本指导书。 二、作业范围： 适用于单晶车间DRF-85单晶炉 三、作业内容： 1. （1）车间许穿戴好整洁工作服、鞋。 （2）将不绣钢小车移至炉旁，准备好耐高温手套、研磨纸、吸尘管、防尘口罩、加热器垫架等拆炉工具 2.热态检漏 (1)检查上炉功率关闭时间，确认单晶冷却时间达到4小时。确认后关闭氩气总阀门，开始抽真空，并做好时间记录 （2）待炉压到达极限（要求达到3Pa以下）后，先关闭主室泵球阀，再关闭主真空泵电源。若0.5小时抽不到3Pa以下。交有关维修人员处理。 （3）检漏3分钟以上，当3分钟漏速<1Pa时为正常，做好漏气率记录。若漏速>1Pa时，交有关维修人员处理。