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碳交易 7月期(苏州)
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[技术交流] 求扩散大神解答,谢谢

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发表于 2016-7-31 09:31:48 | 显示全部楼层 |阅读模式
碳交易培训 7月期
1.扩散前,要通氧氧化,想请问一下为什么要通氧?有人说是为了想成二氧化硅层,使扩散的均匀,哪位大神能说下其中的原理。除了这个作用外,还有没有其他的作用?谢谢2.扩散最后一步,还要再通氧气,照理说扩散后表面有了磷硅玻璃层,然后后续刻蚀工序还需要去除磷硅玻璃层,现在又通氧这不是多此一举吗?请问最后这步通氧的作用是什么?求告知
本人小白,问题可能不太专业,求大神们不要笑话,谢谢
 楼主| 发表于 2016-7-31 18:25:44 | 显示全部楼层
碳交易培训 7月期
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求解答求解答,谢谢
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