JB∕T 10439-2004 单晶炉TDR系列直拉法单晶炉

tsangma

1 范围
本标 准 规 定了对TDR系列直拉法单晶炉(以下简称单晶炉)的各项要求，包括品种规格、技术要
求、试验方法、检验规则及订购和供货等。
本标 准 适 用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
2 规范性引用文件
下列 文 件 中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的
修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。
GB 15 0- 1998 钢制压力容器
GB /T 2 9 00.23-1995 电Y术语Y业电热设备(negIEC6 0050-841: 1 983)
GB /T 10 0 66.1-2004 电热设备的试验方法第1部分:通用部分(IEC6 0398: 1999,M OD)
GB /T 100 66.4-2004 电热设备的试验方法第4部分:间接电阻炉(IEC6 0397: 1994.N EQ)
GB /T 1 0 067.1-1988 电热设备基本技术条件第一部分:通用部分
GB /r 1 0 067.4-1988 电热设备基本技术条件第四部分:间接电阻炉
JB /T 9 69 1-1999 电热设备产品型号编制方法
3 术语和定义
GB /T 290 0.23-1995.G B/1710066.4-2004确立的以及下列术语和定义适用于本标准c