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[技术交流] 三氯氢硅和四氯化硅混合比对多晶硅生产的影响

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发表于 2012-10-11 09:18:36 | 显示全部楼层 |阅读模式
峨眉半导体资料,论证三氯氢硅和四氯化硅混合比对多晶硅生产的影响,对于从事还原的同仁还是有作用的。
   

三氯氢硅和四氯化硅混合比对多晶硅生产的影响.pdf

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