有关扩散后产生的偏磷酸？

huafei920 · 发表于 2009-4-16 19:28:37

使用的是48所得扩散炉，感觉产生的废液——偏磷酸比较多（相对于国外扩散设备）；
有几个问题想麻烦大家帮忙分析一下：
1、为什么扩散过程中会产生偏磷酸？能否避免生成这种废液？
2、为什么48所扩散炉产生的偏磷酸会较国外扩散设备多？
希望得到大家的指导！

huaq · 发表于 2009-4-17 08:18:34

48所的设备又不便宜又不好用，即然这么多问题为什么还要买呢？
其实你这个问题直接让48所给你解决就是了，他们最清楚是什么原因了，哈哈！

francisyang · 发表于 2009-4-17 16:20:34

环境湿度太大,开管扩散是导致偏磷酸的主要原因.
48所没有发展呀...向你以前用的tempress,centrothem.都是闭管扩散.centrothem的尾气回收收集模式.和tempress的管内压力控制都能减少偏磷酸的产生.

huafei920 · 发表于 2009-4-18 15:05:46

48所的扩散炉虽说是闭管扩散，但会产生很多偏磷酸，是需要改进的地方.......

xgzsl · 发表于 2010-10-13 11:06:33

回复 huafei920 的帖子

请问你们是只有磷酸或是加了乙醇啊？

yangxiaodan17 · 发表于 2010-11-6 13:13:13

48所口碑这么差啊

chengxinshijin · 发表于 2011-7-21 01:49:35

偏磷酸的产生是不可避免的，除非不用三氯氧磷热扩散

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[技术交流] 有关扩散后产生的偏磷酸？