请教师傅解决个问题，非晶硅成积后掉膜的原因

憧憬未来 · 发表于 2009-3-18 17:17:44

非晶硅沉积后掉膜是怎么会事？？？有那些因素造成的？？``希望有高手能给予解答``再次谢过！！

fengzhixin · 发表于 2009-3-24 08:27:16

沉积盒不干净擦盒有问题

fengzhixin · 发表于 2009-3-24 08:45:10

沉积盒不干净，或在清洗时二氧化锡清洗不干净也有可能

憧憬未来 · 发表于 2009-3-26 11:41:47

沉积盒二氧化锡都没问题呢？？没有其他的？

wdmxwaj · 发表于 2009-6-25 02:16:56

非晶硅表面污染;沉积膜质量

josszhang · 发表于 2009-7-24 16:55:16

非晶硅表面污染

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[技术交流] 请教师傅解决个问题，非晶硅成积后掉膜的原因