光伏发电技术培训[研考班]2018

阳光工匠光伏论坛

 找回密码
 立即注册
碳交易 7月期(苏州)
查看: 2186|回复: 4

[技术交流] SiN 湿法刻蚀

[复制链接]
发表于 2012-5-2 10:24:37 | 显示全部楼层 |阅读模式
光伏发电技术培训[研考班]2018
光刻法做电池电极的时候,SiN的刻蚀常用什么溶液?谢谢!
发表于 2012-6-6 16:37:26 | 显示全部楼层
光伏发电技术培训[研考班]2018
氢氟酸啊!
发表于 2012-11-2 09:41:07 | 显示全部楼层
碳交易培训 7月期
是湿法刻蚀,还是光刻啊,湿法刻蚀用的是HF,H2SO4,HNO3、HCL的混合液体
发表于 2012-11-8 12:24:15 | 显示全部楼层
碳交易培训 7月期
光刻什么东西?
发表于 2014-1-7 14:02:44 | 显示全部楼层
碳交易培训 7月期
氮化硅刻蚀一般使用热磷酸。
您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册

本版积分规则

Archiver|小黑屋|手机版|阳光工匠光伏论坛 ( 苏ICP备08005685号|网站地图

GMT+8, 2018-2-22 16:40 , Processed in 1.140625 second(s), 35 queries , Gzip On.

Powered by Discuz! X3.2

© 2001-2013 Comsenz Inc.

快速回复 返回顶部 返回列表