光伏发电技术培训[研考班]2018

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[技术交流] SiN 湿法刻蚀

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1初来乍到
101/200
发表于 2012-5-2 10:24:37 | 显示全部楼层 |阅读模式
光刻法做电池电极的时候,SiN的刻蚀常用什么溶液?谢谢!
碳交易培训 7月期
发表于 2012-6-6 16:37:26 | 显示全部楼层
光伏发电技术培训[研考班]2018
氢氟酸啊!
碳交易培训 7月期
2技术员
318/800
发表于 2012-11-2 09:41:07 | 显示全部楼层
光伏发电技术培训[研考班]2018
是湿法刻蚀,还是光刻啊,湿法刻蚀用的是HF,H2SO4,HNO3、HCL的混合液体
碳交易培训 7月期
发表于 2012-11-8 12:24:15 | 显示全部楼层
光刻什么东西?
碳交易培训 7月期
1初来乍到
124/200
发表于 2014-1-7 14:02:44 | 显示全部楼层
光伏发电技术培训[研考班]2018
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氮化硅刻蚀一般使用热磷酸。
碳交易培训 7月期
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