硅片电阻率测定 扩展电阻探针法 GB/T 6617 1995

光谷子

1 主题内容与适用范围
本 标 准规 定了硅片电阻率的扩展电阻探针测tit方法
本标准适用于测量晶体取向与导电类型已知的硅片的电阻率和测量与衬底同塑或反塑的硅外延层
的电阻率。测量范围:10 -'-10' fl " cm
2 引用标准
GB 1550 硅单晶导电类型测定方法
GB/T 1552 硅、锗单晶电阻率直排四探针测量方法
GB 1555 硅单晶晶向光图测量方法
GB 1556 硅单晶晶向X光衍射测量方法
GB/T 14847 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
YS/T巧硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法