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[文献] 直拉硅单晶中的氧碳杂质相关

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发表于 2012-2-3 09:06:03 | 显示全部楼层 |阅读模式
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大直径CZSi单晶中微缺陷与间隙氧之间的关系.pdf (132.48 KB, 下载次数: 7)

直拉硅单晶中氧的轴向均匀性控制.pdf

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直拉单晶硅中的氧和碳.pdf

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拉晶埚位对直拉硅单晶氧含量的影响 .pdf

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