PECVD渡膜时为什么老是碎片？

thc860902 · 发表于 2008-8-5 20:30:38

我们公司用的是德国进口的SINA&ROTH做PECVD渡膜，为什么这段时间石墨框出腔后中间位置的片会破了？而且我们在开腔检查时，发现碎片一般都是预热腔，可是就是不知道是什么原因造成的。有没有哪位高手帮忙解决一下啊？鄙人不胜感激。

zxfcnc · 发表于 2008-8-5 21:09:48

温度应该不是很高，是不是升温的速率太快了

wuliao56 · 发表于 2008-8-7 13:28:51

气压过大或传输不稳定都会出现掉片

thc860902 · 发表于 2008-8-7 20:18:56

我们今天检查了下石墨框，发现石墨框的底部有破损，成弧形状。我们老大认为是由于这个原因导致石墨框在行进过程中出现低位，使得硅片与角阀盖板的锁紧螺丝碰撞，造成碎片。我想知道这个原因的可能性大吗？

gaohui200533 · 发表于 2008-11-14 16:34:59

是不是片子本身有问题啊，比如应力很大的缘故？？？

fengzhixin · 发表于 2009-2-24 16:25:08

受热不均匀或者揍降骤升温都有可能

aogui44 · 发表于 2009-3-3 23:02:31

不大做个实验 4# thc860902

haung · 发表于 2009-3-12 13:35:39

是否有Banding的問題???

hanlingsun · 发表于 2009-5-13 09:28:03

我觉得你的老大说的有很大可能，，气压和什么的问题不是很大，，除非真空不好，压力才有问题

solarpower · 发表于 2011-3-22 16:10:48

气流量过大。升温太快。机械故障。

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[技术交流] PECVD渡膜时为什么老是碎片？