[技术分享] 基于MATLAB的硅各向异性腐蚀过程模拟

发表于 2008-7-4 21:43:24 | 显示全部楼层 |阅读模式

根据硅各向异性腐蚀特点，在硅各向异性腐蚀速率图基础上，提出算法，利用数学软件MATI AB模拟了几种简单掩膜图形的腐蚀过程．程序从二维掩膜描述出发，找到相关晶面，产生动态的三维几何结构的输出并推导出凸角补偿时朴偿条的相关尺寸．其结果对MEMS加工有一定参考价值．

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