硅各向异性腐蚀速率图的模拟

liu635

利用数学软件MATLAB，对三维中的向量进行插值计算。根据硅各向异性腐蚀特点．构造出了一个完整的硅各向异性腐蚀速率图。模拟结果与已有的实验数据进行了比较，说明这种方法可以用来模拟硅各向异性腐蚀速率。