多线切割砂浆密度变化规律及其主要影响因素研究

Wesley____Wu

在多线切割中，砂浆密度关系到砂浆能力。将槽距，装载量，片厚，新碳化硅和新悬浮液密度等设定为恒量，通过模拟计算发现砂浆密度的变化趋势和砂浆缸里面硅粉含量的变化趋势一致，在基础设置数据的基础上，发现在切割至第五刀时砂浆密度以很小的幅度增加。通过对数据的的回归分析，得出砂浆密度计算公式。影响砂浆密度的主要因素有：槽距，单位面积更换系数，新砂浆配置密度。控制砂浆密度在合理的范围内，可保证切割过程的稳定性及硅片质量。