多线切割用砂浆悬浮机理研究

Wesley____Wu

多线切割过程中的碳化硅在油性悬浮液中的分散性，决定着硅片的质量及切割过程中的稳定性，通过对PEG分子结构和键能的研究，强极性键使整个PEG为高度极化分子，在极性键中最容易失去-OH中的H，和表面配位不足而产生极性电荷碳化硅进行结合。碳化硅的等电点在PH=3.9附近，当砂浆的PH值在不同的范围，碳化硅表面的电荷类型和电荷密度不同，从而PEG对碳化硅的饱和吸附量将出现差别。影响饱和吸附量的主要因素有：PH值，PEG分子链的长短，碳化硅的比表面积。影响碳化硅的ZETA电位的主要因素有，PH值，分散剂的类型和添加比例，固相体积分数的大小。