导轮技术标准及切片常见问题概要

Wesley____Wu

下面是关于切片方面产生的一些表现形式和改善方案
一、线痕
分类：线痕按表现形式分为杂质线痕、划伤线痕、密布线痕、错位线痕、边缘线痕等。各种线痕产生的原因如下：
1、杂质线痕：由多晶硅锭内杂质引起，在切片过程中无法完全去除，导致硅片上产生相关线痕。
　　表现形式：
　　（1）线痕上有可见黑点，即杂质点。
　　（2）无可见杂质黑点，但相邻两硅片线痕成对，即一片中凹入，一片凸起，并处同一位置。
　　（3）以上两种特征都有。
　　（4）一般情况下，杂质线痕比其它线痕有较高的线弓。