收尾及冷却

shihongxiang828

工序名称	收尾及冷却
适用范围	拉晶过程中的收尾及冷却
作业顺序 30/30
1收尾 2冷却	1当晶体长度达到预定长度或埚内剩料少时，退自控，缓慢停止埚升进行收尾。 2要经常查看收尾情况，对拉速和温度做适当调整。 3收尾长度应为晶体直径的大小，收成尖尾后使单晶脱离液面，转入冷却工序。 注意事项及原由 1收尾前一定要确认单晶的实际长度防止埚内剩料过多或过少。 2停止埚升随动时一定要缓慢操作，过快会导致收尾卡棱。 3收尾过程中，对拉速和温度调整时，一定要适中、适当，温度和拉速波动过大会导致收尾卡棱。 4杜绝收断尾。 5单晶脱离液面时，按埚降快速，使之脱离。 6异常情况及时向班长或主任报告，并作好相应记录。 1收尾完成后，按下埚快降键，下降20mm后确认埚快降停止，不成晶时下降30mm。 2晶升拉速调整到1.0mm/min，使单晶自动上升。 3温度处理作业：根据单晶状态的不同，作业有所不同。   ａ不合格品：晶体液面分离后，立即将功率归0，关闭加热电源。   ｂ合格品：电压降至20v，半小时后功率归0，关闭加热电源。 4调整计算机各参数，使之恢复初始状态。 5加大Ar气流量至真空压力1500—2000pa，冷却三个半小时后，转入下道工序。 注意事项及原由 1应按埚快降使单晶与液面脱离，脱离到位后必须确认，埚快降停止方可完成。 2成晶情况的不同，单晶与液面脱离的距离不同，有利于缩短运行周期。 3单晶自动上升时，晶升拉速一定要调整到1.0mm/min，过快会导致错位的产生，甚至单晶内裂。 4温度处理一定要按照合格品与不合格品的不同情况进行作业。 5加大Ar气流量有利于缩短冷却时间，但Ar气流量不宜给的太大，可能会造成单晶在炉内晃动。