副泵抽空作业

shihongxiang828

工序名称	副泵抽空作业
适用范围	适用于拉晶过程中副泵的操作
作业顺序 29/30
1打开副泵 2副泵抽空	1. 合好副室炉筒或关闭副室小门后打开副泵电源。 2. 慢慢打开副室后面的抽气球阀，直至全开。 注意事项及原由 1必须先打开副泵电源再开副泵球阀，防止往炉内返气。 2必须要缓慢打开球阀。 1副室压力表抽至-0.05 ~ -1MPa时打开副室Ar气针阀，同时关闭副泵球阀 2副室压力表冲至0 ~ -0.05MPa时关闭副室Ar气针阀，同时打开副泵球阀 3步骤3和步骤4反复操作三次。 4根据压力表的指针确认副室与主室气压达到一致，关闭副室球阀，然后关闭副泵电源。 5缓慢打开翻板或旋版。 6打开副室Ar气针阀至正常流量，关闭主室Ar气针阀。 注意事项及原由 1反复操作步骤3和步骤4可更大限度的提高副室真气度，此时一定要注意不可关闭主室Ar针阀或流量计球阀，否则会造成炉内返气。 2关闭副泵电源时，一定要确认副泵球阀处于完全关闭状态，防止漏气造成事故。 3打开翻板或旋板时要缓慢操作，防止损坏或挤出阀口密封圈。 4在整个副泵抽空过程中，绝对禁止关闭Ar气流量计球阀，否则会造成炉内返气，严重影响成晶。