等径 适用于拉晶过程中等径作业

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	等  径
1 直径控制 2 等径坏	1． 计算机切入自动控制后认真做好各项记录。 2． 等径过程中应时常观察炉内单晶生长情况，每隔10分钟对炉内巡视一次，确认有无异常，每半个小时做一次拉晶记录。 3． 根据情况的不同，等径至预定长度应该适当增大埚升随动。 1． 回熔。在300mm以内坏时进行回熔处理。 1） 、将欧陆设置为op值，晶转设定为5转，埚转为1转。 2） 、功率调整到化料功率的90%。 3） 、观察炉内状态，慢慢下降晶体进行回熔。 4） 、回熔完成后进行常规作业。 2． 提出或停炉 1）、在300—650mm范围内坏时，将单晶提出。（投料55公斤，拉制6寸单晶）。 2）、单晶提高离液面30mm，给定拉速4。0mm/min上升2小时，而后上升到副室炉筒内，60min后打开主室流量计至适当流量，盖住翻板或旋转板。 3）、4.5小时后盖住翻板后，增大副室氩气流量，到达常压后关闭副室氩气升起副室炉筒取出坏单晶。 4）、对炉筒及小副室进行清扫。 5）、安装籽晶，见《籽晶的更换作业》工序，进行二次作业。 6）、等径中坏的长度在900mm以上时吊料。