引颈、放肩、转肩---1

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工序名称	引颈、放肩、转肩
适用范围	适用于单晶炉引、放、转作业
作业顺序 25 30
1预热接触 2引  颈	1温度切入自动后，按晶快降，将籽晶降至从主观察窗刚能看到的位置，并打开晶转电源，给定晶转8r/min。 2 20分钟后，按晶快降按钮将籽晶降至距液面10mm处预热20分钟。 3降籽晶使之与液面接触，浸润30分钟，根据接触光圈的形状，确定引颈温度是否合适若不合适，通过欧陆调整温度20分钟后开始引颈，温度不宜偏低。 注意事项及原由 1籽晶快速上升或下降的位置必须给予确定，升降操作方可完成，否则会溶掉籽晶甚至重锤，升至上限会导致重锤掉下进入熔硅内，造成漏硅或整炉料彻底报废，无法再次利用。 2必须预热，不然会由于籽晶由低温区到高温区，由固态到液态转变时，温差太大造成籽晶产生位错。 1打开晶升电源，计长归零。 2给定埚转至5r/min。 3缓慢提升拉速至1.5mm/min左右10mm后，提升拉速让拉速保持在1.5mm/min—6mm/min之间，引颈直径控制在3mm左右，引颈长度不低于150mm。 4引晶过程中若温度不适可适当进行温度的调整，但不宜过大。注意事项原由 1打开晶升电源前，确认晶升电位器在归零状态。 2埚转调整时应缓慢进行，否则会造成液面晃动。 3引晶开始时，应先引10mm左右直径较粗的细颈，可作为下次接触使用，这样避免籽晶的浪费。 4引晶过程中拉速绝对不可归零、拉速不可过高，这样不利于排除位错。 5细颈不宜过粗、过细，尽量保持平滑。 6细颈的长度不可低于150mm，尤其是引晶过程中出现异常（温度波动较大、细颈质量不高等）时，应适当的加长细颈长度，以便更好的排除位错，利于成晶。