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[技术分享] 抽空、加热

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发表于 2011-9-5 18:49:10 | 显示全部楼层 |阅读模式

抽空、加热

适用于单晶炉抽空加热作业

1  
2加热化料
1打开真空泵电源。
2缓慢打开球阀。
3抽空后炉内力达<20Pa时进行反复充气使炉内压力<5Pa.
注意事项及原由
1真空泵开启时应点动几次真空泵开关按钮,以防真空泵真接起动电流过大损坏电机、泵、及线路控制系统。
2球阀必须缓慢打开,否则会造成泵或电机瞬间电流过大损坏电机、泵、及线路控制系统还会造成真空泵向尾气管内喷油,造成真空泵油量不足影响抽空和真空泵的寿命以至造成真空泵的卡死。
3进行充气时对流量计的使用必须先打开流量计球阀,而后缓慢打开流量计针阀。关闭先关闭流量计球阀而后关闭流量计针阀,否则会因为氩气管内的压力使流量计浮子突然上升打碎流量计内的玻璃管,切记流量计所有开关在不使用时处于关闭状态。
4反复充气炉内真空达不到加热的要求时,应及时报告有关人员进行处理。
3出现异常立刻处理,并报告组长或主任
1抽空完成后,打开充气系统,使炉内压力达到1000Pa左右.
2打开加热开关。
3根据下表通过欧陆分步增加功率。
4料过程中时刻注意观察炉内的情况,若无异常塌料后给定埚转2r/min

5
料化完后,降低加热功率至引颈温度(与上炉对应)。

6
欧陆值降至引颈温度对应的数值时切入自动,将埚升至引颈埚位稳定即导流
时间
电流
0min
650A
30min
1150A
60min
1500A
90min
1750A
120min
2000A
筒至液面距离为15mm左右。


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