1更换装料用的手套。 2将合金放入石英埚。 3将粉材、小料平铺与埚底。 4将大块料放置中央，用中型料隐于大料四周2/3左右予以固定。 5将小料放入中间附近用大块料圈其周围。 注意事项及原由 1更换手套，防止污染原料。 2先将合金放入石英埚，防止遗忘。 3装料时要就近摆放，防止碰撞石英埚造成事故。 4装料用手套不要接触周遍物品，装料用手套注意更换，防止手套破损，掉入埚内污染材料。 5装料时注意不要使料探出石英埚或周围材料，否则会在化料过程中硅液流下，损坏石墨件，甚至闷炉。 6装料时要慎重作业，不要使料掉在保温材料的缝隙，以免造成打火。 7装料时一定要使料合理搭配，防止化料埚位过低，造成漏硅。 8装料时在保证装料质量的情况下，应提高装料速度，降低装料过程中材料被污染的机率。 1装料完成后为2/RPM左右旋转，确认无摩擦快速将埚降至下限。 2埚下降的缝隙，周边（埚上部、加热器上部、保温材料上部、炉盖接合部）用干净吸尘器吸净浮尘及硅渣。 3埚降到位后停止旋转，装好保温大罩、导流筒。 注意事项及原由 1给埚转降埚便于查看加热器与保温材料间是否有夹料，以便处理。 2吸净浮尘、硅渣可防止在后续工作中掉入埚中影响成晶，此时必须确认吸管在干净状态，防止污染材料。 3保温大罩、导流筒安装前要远离材料区用氮气或氩气吹净表面。 4安装保温大罩、导流筒时要相互吻合，安装导流筒时要慎重作业，如果与材料发生接触时要调整料的摆放，防止在化料过程中发生沾硅。
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发表于 2011-9-5 18:43:33
