石墨件的安装与装料准备

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工序名称	石墨件的安装与装料准备
适用范围	适用于装炉作业
作业顺序 17/30
1安装石墨件 2装料准备 3石英埚的检查安装	1用专用工具装好埚杆。 2依次装好埚底、埚邦。 注意事项及原由 1装埚杆、埚底、埚邦时要认真、细心，防止碰坏保温材料或加热器。 2一定要拧紧埚杆螺丝，防止因松动造成液面晃动。 3确认埚杆、埚底、埚邦是否吻合，若有异常及时处理并报告班长或主任。 1炉筒、炉盖的外侧及周遍，用沾有酒精的纸巾擦拭干净，炉体周围地面认真打扫。 2从指定的场所将指定的材料及石英埚取出。 3将取来的材料放在装料台上。 4带好防尘口罩、装料用的手套。 5远离操作区，用氮气将操作者身体整体吹净浮尘。 注意事项及原由 1彻底打扫炉体及周围卫生，防止装料过程中造成污染。 2取来的材料及石英埚应与上次的数据对照，防止影响单晶型号及各种参数。 3远离操作区，吹扫操作者，防止环境交叉污染。 1打开石英埚包装，对光确认有无裂纹、污物、气泡。 2若无异常，用氮气或氩气对石英埚做认真仔细的整体吹扫、吹净浮尘 3在炉内的石墨埚上装好石英埚。 注意事项及原由 1一定要仔细检查石英埚是否有异常，石英埚若有异常可能会导致成晶困难或漏硅。 2石英埚内残留浮尘会严重影响成晶，不要使氮气或氩气管碰到石英埚 3注意要将石英埚平衡安装，否则会导致石英埚变形造成液面抖动。