单晶炉的清扫 适用于单晶炉的清扫作业

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工序名称	单晶炉的清扫
适用范围	适用于单晶炉的清扫作业
作业顺序 7 / 30
1作业准备	1带口罩、手套。 2准备好防尘口罩、无尘纸、酒精、清扫用的氩气（氮气）、研磨布、吸尘器管等清扫所需物品。 注意事项及原由 1工作服必须洁净，工作服及物品如果不洁净会给清扫作业及后续的工作带来污染。 2所用物品必须洁净、就近摆放整齐，物品的齐全及就近摆放能减少不必要的时间浪费。     用毛刷和吸尘器清扫抽气管道内的挥发物，吸尘器管必须伸入管道底部以便将管道内的挥发物彻底吸净。 小付室的清扫 1打开炉盖。 2用沾有酒精的纸巾擦拭小付室内的附着物。 3用沾有酒精的纸巾认真擦拭付室抽气口，其它小孔及翻板或旋转阀板四周及转轴（带旋转阀板的小付室要认真擦拭到后腔的每个角落）。 注意事项及原由     先清理小付室，如果先清理炉盖后清理小付室，在清扫翻板或旋转阀时都 会给清理过的炉盖造成污染。