大罐的清理 单晶炉的清扫作业

shihongxiang828

工序名称	大罐的清理
适用范围	单晶炉的清扫作业
作业顺序 6/30
1作业准备 2清理大罐	1准备好毛刷、吸尘管、专用工具。 2带好手套、防尘口罩。 注意事项及原由 1所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近程放，以减少不必要的时间浪费 1用专用工具打开大罐盖，取出过滤网。 2用毛刷和吸尘器仔细清扫过滤网及大罐内的挥发物。 3将清扫后的过滤网缓慢放进大罐。 4用刷子和吸尘器清扫大罐盖。 5盖好大罐盖并用专用工具上好大罐盖。 注意事项及原由 1打开大罐前确认真空泵球阀在关闭状态，否则在清理过程中会向炉内返气，造成炉内污染。 2工作时要慎重作业，防止造成以外伤害。 3盖大罐盖前要将大罐盖密封圈擦净。 4安装大罐盖时检查密封圈是否完全就位防止出现脱落或出错影响轴空。 5大罐内挥发物较多，在清扫时应尽量避免与周围作业造成交叉污染。