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[技术分享] 利用装置环形永磁场的直拉炉(PMCZ)生长单晶硅和掺锗硅晶体

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发表于 2011-8-10 10:02:16 | 显示全部楼层 |阅读模式
利用装置环形永磁场的直拉炉(PMCZ)生长单晶硅和掺锗硅晶体

利用装置环形永磁场的直拉炉(PMCZ)生长单晶硅和掺锗硅晶体.pdf

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