光伏发电技术培训[研考班]2018

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碳交易 7月期(苏州)
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楼主: ztjy2008

[技术交流] PECVD镀膜后白斑白点问题

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发表于 2014-7-29 09:16:55 | 显示全部楼层
光伏发电技术培训[研考班]2018
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机台氮化硅粉尘,建议保持好机台卫生!
发表于 2014-7-29 09:20:21 | 显示全部楼层
碳交易培训 7月期
墨无文殇 发表于 2011-8-4 19:55
昨天做了一整天的实验,加了四个小时的班,终于找到了白斑的起始原因了,高浓度的HF会在硅片表面形成F沉淀 ...

高浓度的HF会在硅片表面形成F沉淀,这是造成白斑的主要原因?拿你们怎么解决呢???减少HF浓度?
发表于 2015-2-11 09:25:01 | 显示全部楼层
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你有验证白点的成分是什么吗?       板P设备维护周期?     是湿法刻蚀吗?
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