关于扩散工艺

chengxinshijin · 发表于 2011-7-21 01:30:44

大家都知道扩散工艺主要是温度、时间、小氮和大氮四个参数影响工艺结果，但是当工艺调试到一定程度就会出现瓶颈，比如方阻均匀性无法提高以及扩散深度的控制等问题，这时候如何来以一种新的思路来调节工艺呢？

chengxinshijin · 发表于 2011-7-21 01:31:52

比如有人做的双步扩散，升温扩散

zhaoff2005 · 发表于 2011-8-26 08:33:20

表面浓度、扩散深度这些都是扩散可调的地方。

chengxinshijin · 发表于 2011-8-27 01:03:23

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扩散深度和扩散温度以及扩散时间、扩散后温度跟时间有关系，那表面浓度怎么调呢？

zhaoff2005 · 发表于 2011-8-27 07:27:34

表面浓度最直接简单的方法是通过测试。
WT-2000设备有ECV可选功能，能测表面浓度。

chengxinshijin · 发表于 2011-8-27 23:34:49

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那表面浓度的影响因素有那些呢？什么原理

zhaoff2005 · 发表于 2011-8-28 07:12:38

对扩散小氮、扩散时间进行调整，就会得到不同的的表面浓度，关键点是要有测量手段。

permanentlich · 发表于 2012-6-26 21:21:11

可以从设备机台运行状况与外围动力来辅助工艺，例如显示温度为35°，但是恒温区的实际温度肯定会有波动，毕竟工业不等同于理想计算，或者说某些数值你看到的与实际的并非相同，外围动力的排风甚至都会影响工艺效果；制造行业大的生产模式繁杂，工艺本身牵扯的内容就很深，如果可以结合硬件（动力、设备）应该会有一定的效果

wokaoman · 发表于 2012-11-4 14:16:02

关键是要有好的机台CT,TEMPRESS控温比较准确SEVENSTAR控温不太好

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