请教单晶氧化问题

chaofan.zhang · 发表于 2011-5-24 08:18:54

应该是漏气所致~

yongsheng1981 · 发表于 2011-6-25 09:25:11

氩气，机械部分是主要的！

ncy1028 · 发表于 2011-7-8 19:54:04

感觉是炉子有漏气

SHI1218 · 发表于 2011-7-11 02:02:27

单晶炉热态密封性不好，密封槽内有水或小杂物

mornred · 发表于 2011-7-17 09:07:37

氩气供应商是哪家?

c289299283 · 发表于 2011-7-18 11:11:36

那请你检查下氩气管道有没有漏气的地方和氩气纯度，纯度是5个9

hubangfu · 发表于 2011-7-28 10:22:36

' 真空抽速正常，漏率0.15/min，极限真空3.5pa，氩气正常'应该是漏气吧，我们公司要求5min速率在0.12pa/min以下

sz323122 · 发表于 2011-8-2 15:59:14

你用的多大炉子和多大热系统，你这不属于氧化，你仔细看有彩色的部分刚好在炉盖的虎口（就是细脖子那块）是属于气流造成的，而很可能是在你停炉时出现那彩虹，不影响的

ct00 · 发表于 2011-8-2 19:21:03

路过······，氩气的氧含量一定要低啊

yzsitech · 发表于 2011-8-8 10:21:59

应该是渗水了或氩气含水量超标

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