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[非晶] 薄膜厚度的计算方法有哪些

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2技术员
322/800
发表于 2011-4-8 07:31:27 | 显示全部楼层 |阅读模式
     薄膜厚度的计算方法都有哪些?通过薄膜透过率如何计算薄膜厚度?
碳交易培训 7月期
2技术员
558/800
发表于 2011-4-18 16:58:00 | 显示全部楼层
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薄膜一般是用膜厚测试仪来进行厚度检测,一般有台阶仪,光学薄膜测厚仪等。台阶仪需要台阶,一般通过贴胶带制作,光学薄膜测厚用的是光的干涉原理,通过消光系数和折射率来进行厚度测算,只能测试透明薄膜,对于绒面的测试不准确,对太薄的薄膜测试也不准确,比如几纳米~

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碳交易培训 7月期
1初来乍到
173/200
发表于 2011-7-21 16:43:18 | 显示全部楼层
用台阶仪会破坏膜层,不太合适
碳交易培训 7月期
2技术员
558/800
发表于 2011-8-22 08:42:57 | 显示全部楼层
回复 liusijia952 的帖子

在dummy上就可以了呀~
碳交易培训 7月期
1初来乍到
156/200
发表于 2012-7-4 20:20:43 | 显示全部楼层
如何获取下载券?
还有椭偏仪啊  
碳交易培训 7月期
2技术员
318/800
发表于 2012-11-5 17:22:17 | 显示全部楼层
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椭偏仪和反射仪还有SEM都可以看出来,台阶仪太薄的薄膜没法测
碳交易培训 7月期
2技术员
341/800
发表于 2012-12-26 16:06:18 | 显示全部楼层
如何获取下载券?
wokaoman 发表于 2012-11-5 17:22
椭偏仪和反射仪还有SEM都可以看出来,台阶仪太薄的薄膜没法测

我知道Dektak 台阶仪测试精度比椭偏仪和SEM要高很多。
碳交易培训 7月期
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