多晶硅生产装置表

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多晶硅生产装置表多晶硅, 装置, 生产
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装置 名称 作用 主 工 艺 HCL、TCS合成 制备HCL和SiHCL3 TCS精馏 提纯SiHCL3 还原 还原SiHCL3制得纯硅 转化 将还原炉尾气中的SiCL4加氢转化成SiHCL3 回收 回收还原炉、转化炉的尾气，将尾气中的H2、HCL、SiHCL3和SiCL4提纯并分离分别返回相应工艺系统回用。 硅芯制备 制作原始硅棒 产品处理 硅成品破碎包装 检验 生产过程物料及成品检验 辅助设施 制氢站 主工艺原料 制氮站 主要作保护器 供热系统 给主工艺供热 冷冻系统 给主工艺供冷 循环水系统 供主工艺冷却 废物处理系统 环保设施