光伏发电技术培训[研考班]2018

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[文献] 典型的硅片湿法清洗顺序

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发表于 2010-7-3 09:17:11 | 显示全部楼层 |阅读模式
光伏发电技术培训[研考班]2018
  
H2SO4/H2O2(piranha)
有机物和金属
UPW清洗
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自然氧化层
UPW清洗
清洗
NH4OH/ H2O2/ H2O (SC-1)
颗粒
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