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[文献] PECVD 沉积SiO2 和SiNX 对p!GaN 的影响

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发表于 2012-10-12 13:19:28 | 显示全部楼层 |阅读模式
储能电站建设培训
QQ截图20121012212125.png
    两篇不错的pecvd资料,喜欢的可以下载

PECVD沉积SiO_2和SiN_X对p_GaN的影响.pdf

1.07 MB, 下载次数: 1

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