请教高人

xiaoyonggenggxy · 发表于 2009-6-18 21:57:24

1.单晶炉内冒烟时怎么回事，还是清烟？
2.漏硅的原因除了坩埚本身问题与装料问题还有其他原因吗？
3.单晶棒越拉越细在埚随跟上的情况下是什么原因？

ct00 · 发表于 2010-12-2 11:01:58

1、在单晶生长过程中，硅熔液和石英坩埚等炉内物件会由于高温产生大量硅氧化物（主要成分是SiO，也有少量SiO 2，呈黄色烟尘状）、杂质挥发物以及挥发性气体。这些气尘粒子飘浮在单晶生长界面周围。当减小氩气流量时，能明显看到硅熔液上方有烟尘翻腾，俗称“冒烟”。氩气由上至下穿过单晶生长区域，带走气尘杂质。

bingmaying · 发表于 2010-12-12 09:56:59

漏硅除了干锅质量问题外，还有装料的摆放方法，加热时间过长变形。棒子变细的原因可能是温度高而电脑反应慢，可调整PID设置。

khcoco · 发表于 2011-3-1 09:47:43

本帖最后由 khcoco 于 2011-3-1 09:49 编辑

1、炉子里有小的出水口，石英坩埚或者多晶料里有杂质；
2、一种是石英坩埚装料时受到损伤，第二种情况就是石英坩埚在生产时出现大的气泡，经过高温后气泡出现裂痕；
3、在埚升跟的及时的情况下，一般都是尾部温度太高引起的。

kuerz · 发表于 2011-4-12 13:14:29

1.可能是氩气流量不足导致拉晶过程中挥发物没有随气流带走
2.排除坩埚和装料这块的话，可能化料功率过高或者员工操作失误
3.调整PID吧~ 尾部温补不对了

sz323122 · 发表于 2011-7-23 10:07:26

真空有问题了

mornred · 发表于 2011-7-28 16:46:56

3.单晶棒越拉越细在埚随跟上的情况下是什么原因？
埚跟比太小!

wangzhichaocom · 发表于 2011-8-17 11:53:21

1，冒青烟是由于重锤是钼材料，在热的时候放置外面冷却再迅速放入炉内就出出现这种现象，这种问题不要紧，还有种事氧化物在炉内排不出，你要考虑真空泵抽力还有炉子管道堵塞了。
2，热场设计不合理，化料位置不当扒料。化料功率太高都会导致
3，如果随动比对的话应该是温度过高，或者控制系统的问题

循序渐进 · 发表于 2012-1-12 14:39:03

冒烟，B棒要拉料喽。

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