[localimg=400,300]1[/localimg]中国电子科技集团公司第四十八研究所是国家级微电子、太阳能电池、光电材料、磁性材料等专用设备研发、生产的专业机构。经过数十年的奋斗,四十八所已成为国内半导体设备的主要供应商,太阳能电池制造设备的最大供应商。产品已出口到欧、亚多国,已实施2000版ISO9001及GJB9001质量管理体系。
四十八所作为国内太阳能电池制造设备最早的开发、研制单位和最大供应商,一直致力于太阳能电池制造设备的科技、创新、发展,我所新推出的更适应太阳能电池大生产工艺的设备已相继在国内知名的太阳能电池生产厂家获得广泛应用,并推出25MW电池线整线建设工程的服务项目。放眼未来,我们将以优质的产品、真情和热忱的服务,为用户创造更大的价值。我所在光伏行业的主要产品有:
(一)晶体硅太阳电池制造设备
(2)闭管扩散/全封闭软着陆扩散设备
(3)等离子体刻蚀机
(4)等离子体增强化学气相锭积设备(PECVD)
(5)低温烘干炉及高温快速烧结炉
(1)软轴提拉型硅单晶炉〔80型/90型〕
(2)多晶硅铸锭炉(240~270kg/炉及450kg/炉)
(3)多晶铸锭配套坩埚喷涂/坩埚烧结炉/专用上料叉车
(4)硅片清洗设备
(5)硅片减薄及抛光设备(化学机械磨抛机(CMP))
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R Series Multicrystalline Silicon Ingots Growth Furnace n
用途
多晶硅铸锭炉主要用于太阳能级多晶硅锭的大生产,它采用先进的多晶硅定向凝固技术,将硅料高温熔融后通过特殊工艺定向冷凝结晶,从而达到太阳能电池生产用多晶硅品质的要求。是一种适用于长时间连续工作,高精度、高可靠性、自动化程度高的智能化大生产设备。
R系列多晶硅铸锭炉包括两种规格:R13240-1/UM型适用于240kg~270 kg(每批次)太阳能级多晶硅的生产;R13450-1/UM型适用于400kg~450 kg(每批次)太阳能级多晶硅的生产。先进的控制技术和精密的结构加工,以其系统化、集成化、智能化保证了高品质多晶硅的生产。
n
设备主要特点
●先进的多晶硅定向凝固技术;
●优质的炉膛材质和高气密性炉腔,为多晶硅生长提供优良条件;
●隔热笼同步提升技术,保证垂直方向温度梯度和固液界面水平;
●方便形成垂直温度梯度的热场设计,实现晶体快速生长;
●独有生长期维持副泵设计,大大降低真空系统能耗,延长主泵寿命,减少使用维护成本;
●采用固化碳毡错位连接设计,减少热损耗、节能;
●隔热笼运动机构采用进口驱动器+伺服电机 +进口滚珠丝杆副,控制精度高,运行平稳可靠;下炉盖运动机构采用直流电机控制、稳定性好,并配有丢步检测保护装置;
●工艺过程全自动控制,图形化显示。独有断偶等“经验”处理程序,提高铸锭成功率;
●UPS电源,软件、硬件多重安全保护,故障报警和安全联锁,设备可靠性高;
●可靠的安全性能:高于国际行业标准的安全性防护设计,采用四重防硅液泄漏的安全防护技术,确保防止意外的发生;
●整机模块化、标准化设计,安装快捷,设备拓展方便,可维修性好;快捷方便的本土技术服务,充足的零备件供应。
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