铸造多晶硅的研究进展
席珍 强 杨德仁 陈 君
( 浙江大学硅材料国家重点实验室, 杭卅I 3 1 0 0 2 7 )
摘要 近年来, 由于低成 皋和 高效率的优势. 铸造 多晶硅成 为囊主要的光伏 材料之一。 现在 . 箕铸 连工艺相对成
熟: 对材料 的敏佶和杂 质的研 宽 日趋 深化 ; 吸杂 、 钝化履表面把椅化等技 术的应 用里著地改善 了材料 的 电学和光学性
能 实验 室水平上 , 用铸造 多晶硅材料制成 的太 阳电池的转换 效率高达 1 8 . 6 。 本文详细阐述 了铸造 多晶硅材料的研
究现状和存在 的问题 . 展 望夸后 的发展方向
关键词 铸造多晶硅 缺陷和杂质 电学性能
Re s e a r c h Pr og r e s s o f Ca s t M ul t i c r y s t a l l i n e S i l i c o n
Xi Z h e n q i a n g Ya n g De r e n Ch e n J u n
( S t a t e Ke y La b o r a t o r y o f s i l o n Ma t e r ia l s t Z h e ~ a n g Un i v e r s i t y. Ha n g z h o u 3 1 0 0 2 7 )
Ab s t r a c t Re c e n t l y, d u e t o t h e s u p e r i o r i t y o f l o w c o s t a n d h i g h c o n v e r s i o n e [ [ i c i e n c y , c a s t mu l t i c r y s t a l l i n e
s i l i c o n h a s b e e n one of t h e ma i n pho t o voI t ai c mat e r i a l s .The c a s t pr oc e s s e s of mu1 t 1 c r vs t a l 1 i ne s i l i c o n we r e c o mpa r a
t / ve l y d ev e l op e d. Th e r e s e ar c h on i t s d e f e c t s a nd i mpu r i t i e s wa s i n pr o gr e s s .Th e a p pl i c a t i on of many t e e h nol og ms s uc h
a ge t t e r i ng, p a s s i v at i on a nd t e xt ur i ng, ha s r e mar kab l y i mpr ov e d t h e e l ec t r i c a l a nd opt i c a l p r op e r t i e s -I n l a bo r a t o r y
l e v e 1 . t h e be s t c on ve r s i on el f Ki e nc y of s o l a r c e l l s ma d e b y c a s t muhi c r ys t a l l i ne s i l i c on i s 18 .6 . I n t hi s pa pe r, t he r e
s ea r c h s t at u s, exi s t e d pr obl e ms a n d i t s pr os p e c t s a l e r e v i ewe d i n d e t a i l
Ke y wo r d s c a s t mu l r ic r y s t a l l i n e s i l i c o n, d e f e c t s a n d i mp u r i t i e s , e l e c t r i c a l p r o p e r t i e s
0 引言 同时其内部存在大量的缺陷和杂质, 从而导致它的电学性能
低于单晶硅材料 可是近年来通过对铸造工艺的改进. 对材料