京仪85炉调试说明

xiaohe2008

好不容易找到的电子档啊

MCZ-6000FA型单晶炉

使 用 说 明 书

北京京仪世纪自动化设备有限公司

Beijing Jingyi Century Automatic Equipment Co.， Ltd.

敬 告 用 户

感谢您选用北京京仪世纪自动化设备有限公司的产品。我们愿意竭诚为您提供一流的产品和一流的服务。

*警告：单晶炉设备是复杂的机电系统，运行时腔体内是高温状态；停水、停电等突发事故或错误操作都可能带来巨大危险。说明书仅提供设备所需的安全操作和维护保养的信息，使用前请确认已经详细阅读过本说明书，并在厂家技术人员或确认有相关专业知识的设备工程师、工艺师指导下调试、生产并制定严格的生产流程和规范。

本说明书的内容是根据Q/YGBYJ82.001-2006直拉法单晶炉企业标准而编写，适用于标准型单晶炉。因产品的改进，用户的工艺技术要求不一，具体细节会略有不同，使得单晶炉的配置、结构有不同程度的改变，此说明书中不再修改敬请谅解！

本说明书仅供设备用户操作和维修保养参考，未经过北京京仪世纪自动化设备有限公司授权前不得提供给第三方或将相关内容泄露。

本说明书的解释权归北京京仪世纪自动化设备有限公司所有。

北京京仪世纪自动化设备有限公司

目
录

1.
综述........................................................1

1.1
用途

1.2
主要技术特征

1.3
主要技术参数

1.4
整机配置

1.5
选配件

1.5.1
晶体直径测量仪

1.5.2
18″，20″热系统

1.5.3
磁场

1.5.4
水冷电缆

1.5.5
电源柜

1.5.6
电控柜

1.5.7
谐波抑制和功率补偿柜

1.6
生长晶体尺寸

2. 安装与冷态调试..............................................3

2.1
平面布置与接口

2.2
工作环境

2.3
冷却水与回水

2.4
电源

2.5
气源

2.6
主泵与副泵

2.7
厂房与操作平台

2.8
楼板过孔

2.9
主机地基

2.10
拆箱

2.11
安装

3.　冷态机电联调...............................................6

4.　热态调试与拉晶...........................................6

4.1
装热系统

4.2
煅烧

4.3
拉晶

5.　主机结构...................................................6

5.1
简述

5.2
下传动

5.3
主炉室

5.3.1
炉底盘

5.3.2
主室和侧取光

5.3.3
炉盖及上取光

5.4
插板阀

5.5
副室及过渡室

5.6
籽晶升降部件

5.7
副炉室与炉盖的升降与外旋

5.8
上主炉室的升降与外旋

5.9　真空系统

5.9.1
主炉室真空系统

5.9.2
副炉室真空系统

5.10　气路系统

5.11　水路系统

6.
主机与外配磁场............................................10

7.
使用与维修..............................................10

7.1
真空炉室与气路管道

7.2
主机润滑

7.3
密封件

7.4
下传动部件

7.5
籽晶升降部件

7.6
过渡室电刷架的维护

7.7
直流伺服电机的维护

7...8
防锈

7.9
外配各减速器的维护

7.10 主泵、副泵的维护

8.
常见故障与排除............................................12

9.
机械部分附图目录 .......................................13

10. 电气控制柜单元配置........................................14

11. 速度控制单元工作原理及调整................................14

11.1晶升/埚升控制单元

11.2晶转/埚转单元

11.3炉室提升控制单元

12. 温度控制单元............................................15

12.1
基本结构介绍

12.2
功能与应用

12.3
安装及维修

12.4
欧陆控制器各部分的功能

13. 晶体生长控制器单元.....................................21

14. 真空检测与控制系统.......................................21

14.1 工作原理

14.2 系统组成

15. 水温检测与报警系统.......................................22

15.1 工作原理

15.2 系统组成