求扩散大神解答，谢谢

一笑冲天 · 发表于 2016-7-31 09:31:48

1.扩散前，要通氧氧化，想请问一下为什么要通氧？有人说是为了想成二氧化硅层，使扩散的均匀，哪位大神能说下其中的原理。除了这个作用外，还有没有其他的作用？谢谢2.扩散最后一步，还要再通氧气，照理说扩散后表面有了磷硅玻璃层，然后后续刻蚀工序还需要去除磷硅玻璃层，现在又通氧这不是多此一举吗？请问最后这步通氧的作用是什么？求告知
本人小白，问题可能不太专业，求大神们不要笑话，谢谢

一笑冲天 · 发表于 2016-7-31 18:25:44

求解答求解答，谢谢

灌篮低手 · 发表于 2022-10-9 15:19:27

这个问题太专业了

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