光伏硅原料标准SEMI PV17-0611

semitemp

该标准涉及到利用多种工艺方法生产的多晶硅材料详细规范，包括化学气相沉积（CVD）法、冶金还原法和其他工艺方法。CVD工艺中包括了所谓的“西门子法”、流化床法、粉末法和其它使用蒸馏硅烷或卤化硅混合物的方法。这些特殊材料可用于生长单晶，铸造多晶，以及其他方法生长多晶硅材料，从而生产太阳电池用硅片。