请问扩散后片子是白色的，为什么？

danwenming · 发表于 2009-7-3 19:01:20

我们公司是自动加源。不要换源。

danwenming · 发表于 2009-7-3 19:03:35

但是方块电阻有的还是55-56.我们是做156多晶的，电阻在55-60

chenlove1 · 发表于 2009-7-3 21:34:40

估计是片子在清洗制绒过后没有甩干，水分比较大，在扩散过程中生成了白色的偏磷酸。同时可以做一下扩散炉的TCA清洗。

西祠小混混 · 发表于 2009-7-6 19:45:54

偏磷酸的可能性比较大，片子中伴随发蓝吗？发蓝的话肯定是有水在片子上面了。

fhdbest · 发表于 2010-1-22 16:25:14

扩前片子很正色吗？个人以为应该不是偏磷酸

juegai · 发表于 2010-3-2 13:17:16

白色的点？周围有没有淡蓝色的花纹？

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