引颈、放肩、转肩----2

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工序名称	引颈、放肩、转肩
适用范围	适用于单晶炉引、放、转作业
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3放   肩 4 放肩坏 5转   肩	1引颈达到预定的长度后，缓慢降低拉速直至0.4mm/min进行放肩。 2放肩务必要放平肩，放肩时用温校速率来调节温度。 3放肩时要时刻观察肩的形状，放肩过快过慢时应及时进行适当调整。 注意事项及原由 1引颈结束降低拉速时必须分步缓慢至0.4mm/min，避免成锥肩或因拉速降低过快使细颈迅速生长而卡棱。 2放肩拉速0.4mm/min、放平肩目的是为了降低液面温度，利于转肩后单晶前30mm 1放肩坏时，将肩放至直径150—160mm提离液面上升到导流筒的中间位子 2到达导流筒中间部位后，将晶升设定在4mm/min的拉速上升5min后，关闭晶升电源电位器归零，按晶生快速上升至付室，打开主室充气针阀后盖住翻板或旋板。 3增大付室氩气流量，到达常压后关闭付室充气针阀。 4打开付室门或升起付室旋转后，取出不成晶品放到适当位置待其冷却后按分类要求放入指定场所。 5更换籽晶见《籽晶的更换》作业 注意事项及原由 1放肩坏将肩放大尔后提出，是为了吸附更多的杂质，对整炉硅起到提纯的作用利。 2坏肩提出忌直接上升至付室这样温差太大会造成籽晶内裂。 3打完快速后要确认快速已经停止（可通过晶升电机是否转动来确认）。 4盖翻板或旋板前切记一定要打开主室氩气流量计针阀并确认提出的肩是否影响翻板后旋板的操作。以免磕碰卡住翻板、旋板或掉入埚中造成溅硅事故。 5对旋板的操作一定要使其升到上限以免切坏或挤出阀口胶圈致使旋板关闭不严无 6关闭付室充气针阀要认真操作，防止误关主室针阀或氩气流量计球阀开关。