[文献] 三氯氢硅和氢气系统中多晶硅化学气相沉积的数值模拟

发表于 2011-8-26 16:21:03 | 显示全部楼层 |阅读模式

三氯氢硅和氢气系统中多晶硅化学气相沉积的数值模拟
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