PECVD镀膜后白斑白点问题

ztjy2008 · 发表于 2011-7-30 18:05:32

使用Roth&Rau的PECVD给多晶片镀膜后片子上出现白斑片，有没有可能是PECVD机台的问题？在验证中截取生产一直正常机台的一批片子到出现白斑的这个机台做，结果大部分也有白斑，这是为什么？引起白斑的原因有哪些？难道能确切的说白斑片肯定不会是由PECVD工艺或设备原因引起的吗？

ztjy2008 · 发表于 2011-7-30 18:07:39

补充一下：排查中并没发现前道工序有什么问题

mornred · 发表于 2011-7-31 09:13:55

片子本身出问题的可能更大

墨无文殇 · 发表于 2011-7-31 19:05:52

只看该作者，我对于PECVD镀膜后的白斑有深入的研究，并且现在已经克服了这个难题，我对你很感兴趣，所以，如果你想知道的话，就看你的表现了，还有，要从你从来没有注意到的地方入手，或者说你从来不认为会出问题的地方入手，就可以找到解决问题的关键，没想到，咱竟然是同行！

墨无文殇 · 发表于 2011-7-31 19:13:50

看了一个帖，多晶，无疑是近段时间发展的趋势，所以，多晶白斑是必须要克服的问题

ztjy2008 · 发表于 2011-8-1 09:06:38

回复墨无文殇的帖子

不知你是什么意思？请指教。排除了来料片子问题、扩散无问题、也非后清洗，都说镀膜本身不会引起此问题，究竟什么会引起白斑集中出现呢？

墨无文殇 · 发表于 2011-8-1 23:42:25

不好意思，搞错了一个事情而已，不过，你有什么能够证明非清洗原因导致的镀膜后白斑？清洗机维护？或者是CT管式PECVD镀膜后不出，有两个地方的问题可能你没有注意到，一，清洗机内部长时间造成清洗机内部HF颗粒沉淀，这些HF颗粒在清洗机内表面，甚至都是厚厚的一层了，但是由于与清洗机表面的颜色无异，如果没有仔细的观察，是不i容易看出来的，所以，首先检查你的清洗机内部是不是有白色HF，另一方面，清洗机上料传送带下面是一个死角，你可能根本就没有注意，那下面的脏污，是非常容易造成白斑的，还有，我给你解释为什么只有板式PECVD出而管式pecvd不出，因为板式PECVD只有上载仓和加热仓，然后就直接镀膜，而管式在开始镀膜工艺前会在炉管内部有清洗的工艺步骤，这个步骤，在高温下，会将HF去除，这样，就只会在板式PECVD出，而在管式不出的愿意了

但愿，对你有所帮助

ztjy2008 · 发表于 2011-8-3 23:14:01

谢谢指教。白斑个很让人头疼的问题，前面几道工序都可能引起，不过后清洗洗不到，要重点排查后清洗。目前我们管式板式PECVD后，都有白斑出现。

墨无文殇 · 发表于 2011-8-4 19:55:43

昨天做了一整天的实验，加了四个小时的班，终于找到了白斑的起始原因了，高浓度的HF会在硅片表面形成F沉淀，这是造成白斑的主要原因，产生的工序是超净车间高纯清洗，所有实验是我亲自验证，这刻蚀世界性难题啊，就这样被我顽固的攻克了，你很幸运！！

ztjy2008 · 发表于 2011-8-5 09:11:15

回复墨无文殇的帖子

谢谢你的解惑，又让我新学些东西咕~~(╯﹏╰)b，我的工作要负责或者说参与排查所有工序的不良现象，新入这行，偏偏又负责这些疑难复杂的问题，很辛苦。
还有你说的超净车间高纯清洗是什么车间，是制绒这个工序吗，好像一些公司的叫法不一样啊

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[技术交流] PECVD镀膜后白斑白点问题

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